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Antonio M. Alcaide

Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (CSIC-Univ. Sevilla)

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When Plasmas and Piezoelectric Acoustic Waves Come Together to Pattern the Nanostructure and Chemistry of Thin Films

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When Plasmas and Piezoelectric Acoustic Waves Come Together to Pattern the Nanostructure and Chemistry of Thin Films

Number of pages: 35 Posted: 06 Feb 2023
Victor Rico, Guillermo F. Regodon, Aurelio García-Valenzuela, Antonio M. Alcaide, Manuel Oliva-Ramirez, Teresa Cristina Rojas, Rafael alvarez, Francisco J. Palomares, Alberto Palmero and Agustin R. González-Elipe
Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (CSIC-Univ. Sevilla), Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (CSIC-Univ. Sevilla), Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (CSIC-Univ. Sevilla), Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (CSIC-Univ. Sevilla), Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (CSIC-Univ. Sevilla), Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (CSIC-Univ. Sevilla), Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (CSIC-Univ. Sevilla), Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (ICMM-CSIC), Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (CSIC-Univ. Sevilla) and Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (CSIC-Univ. Sevilla)
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Plasma-acoustic waves interaction, thin film patterning, patterning of nanostructure and chemistry, magnetron sputtering at oblique angle, SiO2 and SiOx thin films

When Plasmas and Piezoelectric Acoustic Waves Come Together to Pattern the Nanostructure and Chemistry of Thin Films

Number of pages: 23 Posted: 13 Oct 2022
Victor Rico, Guillermo F. Regodon, Aurelio García-Valenzuela, Antonio M. Alcaide, Manuel Oliva-Ramirez, Teresa Cristina Rojas, Rafael alvarez, Francisco J. Palomares, Alberto Palmero and Agustin R. González-Elipe
Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (CSIC-Univ. Sevilla), Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (CSIC-Univ. Sevilla), Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (CSIC-Univ. Sevilla), Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (CSIC-Univ. Sevilla), Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (CSIC-Univ. Sevilla), Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (CSIC-Univ. Sevilla), Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (CSIC-Univ. Sevilla), Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (ICMM-CSIC), Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (CSIC-Univ. Sevilla) and Instituto de Ciencia de Materiales de Sevilla (CSIC-Univ. Sevilla)
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Plasma- acoustic waves interaction, thin film patterning, local control of nanostructure and composition, magnetron sputtering at oblique angle, SiO2 and SiOx (x<2) thin films.